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公开(公告)号:EP3985142B1
公开(公告)日:2024-04-17
申请号:EP20846269.7
申请日:2020-03-24
IPC分类号: C23C14/04 , C23C14/24 , H10K50/82 , H10K59/121 , H10K71/16 , H10K50/81 , H10K59/65 , H10K102/00
CPC分类号: C23C14/042 , H10K59/65 , H10K59/121 , H10K71/166 , H10K50/81 , H10K50/82 , H10K2102/35120230201
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公开(公告)号:EP3565003B1
公开(公告)日:2023-12-20
申请号:EP17842376.0
申请日:2017-07-12
发明人: AI, Yu , XIE, Xuewu , SUN, Shi , LIU, Bowen , ZHAO, Chengpeng
IPC分类号: H10K50/81 , H01L27/12 , H10K50/82 , H10K59/121 , H10K59/131 , H10K71/00
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4.
公开(公告)号:EP4442092A1
公开(公告)日:2024-10-09
申请号:EP22902430.2
申请日:2022-12-02
发明人: MAGNO, John N. , KOCH, Gene C.
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