公开(公告)号：EP1987923A3

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：EP08007947.8

申请日：2008-04-24

申请人： DATRON AG

发明人： Reck, Monika ,  Reck, Matthias

IPC分类号： B25B11/00

CPC分类号： B25B11/005

摘要： Eine begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) für eine Vorrichtung zur Positionierung und Befestigung von zu bearbeitenden Werkstücken (300, 310, 320, 340) auf der Oberseite einer im Wesentlichen ebenen, Öffnungen (115) aufweisenden Grundplatte (110), wobei die Öffnungen (115) an der Unterseite der Grundplatte (110) mit einer Vakuumpumpe (118) fluidisch verbunden sind und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) zwischen dem Werkstück (300, 310, 320, 340) und der Oberseite der Grundplatte (110) angeordnet ist, und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) wenigstens auf ihrer dem Werkstück zugewandten Seite Dichtelemente (140, 142; 146; 147; 148) aufweist, die eine Mehrzahl von jeweils geschlossenen, abgedichteten Saugbereichen (145; 146'; 147'; 148') zwischen Werkstück (300, 310, 320, 340) und Grundplatte (120) ausbilden, ist dadurch gekennzeichnet, dass die begrenzt luftdurchlässige Schicht aus einem Material besteht, das durch das Trägermaterial der begrenzt luftdurchlässigen Schicht so ausgebildet ist, dass sich eine maximale Durchströmbarkeit senkrecht zur Grundplatte einstellt.

公开(公告)号：EP1987923A2

公开(公告)日：2008-11-05

申请号：EP08007947.8

申请日：2008-04-24

申请人： DATRON AG

发明人： Reck, Monika ,  Reck, Matthias

IPC分类号： B25B11/00

CPC分类号： B25B11/005

摘要： Eine begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) für eine Vorrichtung zur Positionierung und Befestigung von zu bearbeitenden Werkstücken (300, 310, 320, 340) auf der Oberseite einer im Wesentlichen ebenen, Öffnungen (115) aufweisenden Grundplatte (110), wobei die Öffnungen (115) an der Unterseite der Grundplatte (110) mit einer Vakuumpumpe (118) fluidisch verbunden sind und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) zwischen dem Werkstück (300, 310, 320, 340) und der Oberseite der Grundplatte (110) angeordnet ist, und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) wenigstens auf ihrer dem Werkstück zugewandten Seite Dichtelemente (140, 142; 146; 147; 148) aufweist, die eine Mehrzahl von jeweils geschlossenen, abgedichteten Saugbereichen (145; 146'; 147'; 148') zwischen Werkstück (300, 310, 320, 340) und Grundplatte (120) ausbilden, ist dadurch gekennzeichnet, dass die begrenzt luftdurchlässige Schicht aus einem Material besteht, das durch das Trägermaterial der begrenzt luftdurchlässigen Schicht so ausgebildet ist, dass sich eine maximale Durchströmbarkeit senkrecht zur Grundplatte einstellt.

摘要翻译： 所述透气性层（120）被布置在基板（110）与流体地与所述底板的下表面上的真空泵（118），其连接均匀的孔（115）。 所述透气层是由工件之间并且在底板的上侧布置。 密封元件（140，142）是在面对工件的层的一侧。 所述密封元件形成一组工件和基板之间封闭，密封吸附区域（145）的。