公开(公告)号：EP1452221A4

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：EP02788714

申请日：2002-12-04

申请人： TAIYO NIPPON SANSO CORP ,  OHMI TADAHIRO

发明人： OHMI TADAHIRO ,  ISHIHARA YOSHIO ,  NAKAMURA AKIHIRO

IPC分类号： B01D53/34 ,  B01D53/68 ,  B01D46/00 ,  B01D53/04 ,  B01D53/46 ,  B01D53/70 ,  B01D53/74 ,  B01D53/81 ,  B01J4/00 ,  C01B23/00 ,  C23C16/44 ,  H01L21/31

CPC分类号： C01B23/0052 ,  B01D53/46 ,  B01D53/68 ,  B01D53/70 ,  B01D53/74 ,  B01D2257/11 ,  B01D2257/2066 ,  C01B23/001 ,  C01B2210/0029 ,  C01B2210/0035 ,  C01B2210/0042 ,  Y02P20/154

摘要： Gas supplying method and system in which effective component gas in exhaust gas can be separated and purified efficiently regardless of variation in the flow rate or composition of the exhaust gas and consumed gas can be replenished efficiently. In a method for collecting exhaust gas discharged from a gas using facility, separating/purifying effective component gas contained in the exhaust gas and supplying the effective component gas thus obtained to the gas using facility, the exhaust gas discharged from the gas using facility is added with a replenishing gas of the same components as the effective component gas before the effective component gas is separated and purified.

摘要翻译： 可以有效地补充气体供给方法和系统，其中排气中的有效成分气体可以被有效地分离和净化以被重新供应，而与流量或排气和消耗气体的组成的变化无关。 在从气体使用设备中排出的废气的收集方法中，分离/净化排气中含有的有效成分气体并将这样获得的有效成分气体供给到气体使用设备中，从气体使用设备排出的排气被添加 在有效成分气体被分离和纯化之前，补充与有效成分气体相同成分的气体。