公开(公告)号：EP1468248A1

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：EP02774412.7

申请日：2002-09-25

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： WILLIG, Rainer ,  FRANZ, Jochen ,  KUHLMANN, Burkhard ,  HAUER, Joerg ,  GOMEZ, Udo-Martin ,  MAURER, Dieter ,  DOERING, Christian ,  BAUER, Wolfram ,  BISCHOF, Udo ,  NEUL, Reinhard ,  CLASSEN, Johannes ,  LANG, Christoph ,  FREY, Jens

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01P3/14

CPC分类号： G01C19/5747

摘要： The invention relates to a rotational rate sensor comprising a substrate and a Coriolis element (2a, 2b), said Coriolis element (2a, 2b) being arranged over a surface of a substrate. According to the invention, stimulation means (12a, 13a, 12b, 13b) are provided for stimulating the Coriolis element (2a, 2b) in such a way that it oscillates parallel to a first axis (X); detection means (15a, 16a, 15b, 16b, 17) are provided for detecting a deviation of the Coriolis element (2a, 2b), caused by a Coriolis force in a second axis (Y) which is perpendicular to the first axis; the first and second axes (X, Y) are parallel to the surface of the substrate; sensor elements (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b) are provided which are at least partially mobile in relation to the substrate; and force-mediating means (19, 20) are provided for mediating a static force between the substrate and at least one of the sensor elements (1a, 1b, 2a, 2b, 3a, 3b).

摘要翻译： 本发明涉及一种旋转速率传感器，其包括衬底和科里奥利元件（2a，2b），所述科里奥利元件（2a，2b）布置在衬底的表面上。 根据本发明，（12A，13A，12B，13B）被提供用于刺激科里奥利元件刺激装置（2a，2b）的，它平行于振荡的第一轴线（X）这样的方式; 提供了用于检测科里奥利元件的偏差检测装置（15A，16A，15B，16B，17）（2A，2B），所引起的第二轴（Y）垂直于所述第一轴线的科里奥利力; 第一和第二轴线（X，Y）平行于基板的表面; 提供传感器元件（1a，1b，2a，2b，3a，3b），所述传感器元件相对于所述衬底至少部分可移动; 和力介导装置（19,20），用于调节衬底和传感器元件（1a，1b，2a，2b，3a，3b）中的至少一个之间的静态力。