公开(公告)号：EP0767486A3

公开(公告)日：1997-12-29

申请号：EP96307306

申请日：1996-10-07

申请人： CANON KK

发明人： SATO NOBUHIKO ,  YONEHARA TAKAO ,  SAKAGUCHI KIYOFUMI

IPC分类号： H01L21/20 ,  H01L21/02 ,  H01L21/265 ,  H01L21/322 ,  H01L21/762 ,  H01L27/12 ,  H01L31/18 ,  H01L21/304

CPC分类号： H01L21/02032 ,  H01L21/3221 ,  H01L21/3223 ,  H01L21/3226 ,  H01L21/76251 ,  H01L21/76254 ,  H01L21/76259 ,  H01L31/1892 ,  Y02E10/50