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    Microwave excited gas laser oscillator
    43.
    发明公开
    Microwave excited gas laser oscillator 有权
    微波激发气体激光振荡器

    公开(公告)号：EP0933843A1

    公开(公告)日：1999-08-04

    申请号：EP99101404.4

    申请日：1999-01-26

    申请人： MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.

    发明人： Iwasaki, Yutaka ,  Yamane, Shigeki

    IPC分类号： H01S3/0975

    CPC分类号： H01S3/0975

    摘要： In one discharge tube (3) in which laser gas flows, a plurality of microwave generating units composed of microwave power sources (4), magnetrons (1) and waveguides (2) are disposed, and each magnetron (1) oscillates intermittently by switching drive of the microwave power source (4). A main controller (6) gives a reference clock to a power source unit (5) composed of said plurality of microwave power sources (4). By this reference clock, adjacent microwave power sources (4) in the power source unit (5) are switched and driven at a predetermined phase difference through a phase shifter (7). Accordingly, discharge interference in adjacent discharge areas (10) is avoided, so that a stable laser beam output may be obtained.

    摘要翻译： 在激光气体流动的一个放电管（3）中，配置有由微波功率源（4），磁控管（1）和波导管（2）构成的多个微波发生单元，并且每个磁控管（1）通过切换 驱动微波电源（4）。 主控制器（6）向由所述多个微波功率源（4）组成的电源单元（5）给出基准时钟。 通过该参考时钟，电源单元（5）中的相邻微波功率源（4）通过移相器（7）以预定相位差切换和驱动。 因此，避免了相邻放电区（10）中的放电干扰，从而可以获得稳定的激光束输出。

    Laserresonator
    44.
    发明公开
    Laserresonator 有权

    公开(公告)号：EP0911922A1

    公开(公告)日：1999-04-28

    申请号：EP98120243.5

    申请日：1998-10-26

    申请人： TRUMPF LASERTECHNIK GmbH

    发明人： Schlüter, Holger

    IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/08 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/07

    CPC分类号： H01S3/08059 ,  H01S3/02 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/076 ,  H01S3/0975

    摘要： Beschrieben wird ein Laserresonator mit einem ersten (3) und einem zweiten (4) Endspiegel und mit koaxialen Elektroden (1,2), zwischen denen in Richtung einer Symmetrieachse des Laserresonators hin- und herreflektierte Laserstrahlung ein Resonatorvolumen ringförmigen Querschnitts abschnittweise azimutal durchläuft.
    Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß der zweite Endspiegel (4) ein im wesentlichen konischer Spiegel ist, der auftreffende Laserstrahlung jeweils in azimutal gegenüberliegende Bereiche des Resonatorvolumens umlenkt.

    摘要翻译： 激光谐振器具有一对具有在它们之间延伸的同轴电极（1,2）的端镜（3,4），激光辐射在电极之间的环形谐振器体积内在对称轴线的方向上反向反射。 第二激光镜是圆锥形的，用于将接收的激光辐射偏转到谐振器体积的方位角相对的区域。

    Excimer laser oscillation apparatus and method, excimer laser exposure apparatus, and laser tube
    45.
    发明公开
    Excimer laser oscillation apparatus and method, excimer laser exposure apparatus, and laser tube 失效
    准分子激光器振荡设备和方法，受激准分子激光曝光设备和激光管

    公开(公告)号：EP0820132A3

    公开(公告)日：1998-04-08

    申请号：EP97305404.2

    申请日：1997-07-18

    申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA ,  Ohmi, Tadahiro

    发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Tanaka, Nobuyoshi, c/o Canon Kabushiki Kaisha ,  Hirayama, Masaki

    IPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/225 ,  H01S3/08

    CPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/08 ,  H01S3/225

    摘要： This invention relates to an excimer laser oscillation apparatus which has a laser chamber (20) which stores a laser gas containing a gas mixture of at least one inert gas selected from the group consisting of Kr, Ar, and Ne, and F 2 gas, and in which an inner surface thereof has a reflection-free surface (3) with respect to light of a desired wavelength of 248 nm, 193 nm, or 157 nm, and the uppermost surface of the inner surface consists of a fluoride, an optical resonator which is made up of a pair of reflection mirrors (5,6) arranged to sandwich the laser chamber (20) therebetween, and in which the reflectance of the reflection mirror (6) on the output side is 90% or more and microwave introduction means (300,303,302), arranged on the laser chamber (20), for continuously exciting the laser gas in the laser chamber (20).

    Rectangular discharge gas laser
    46.
    发明公开
    Rectangular discharge gas laser 失效
    Gaslaser mit rechteckiger Entladung

    公开(公告)号：EP0687044A1

    公开(公告)日：1995-12-13

    申请号：EP95108874.9

    申请日：1995-06-08

    申请人： QSource, Inc.

    发明人： Chenausky, Peter

    IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/0975

    CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/08081 ,  H01S3/0975

    摘要： A transverse RF pumped gas laser has a large area discharge which is of generally rectangular shape in all plan views. In cross-section the geometry of the discharge has a longer and a shorter dimension, the longer dimension being between the electrodes (12,14) to which RF power is supplied and the shorter dimension, suitable for guiding intracavity laser light, being defined by ceramic side walls (16,18). The longer dimension has a Fresnel number of at least unity.

    摘要翻译： 横向射频泵浦气体激光器在所有平面图中具有大的矩形形状的大面积放电。 在横截面中，放电的几何形状具有更长和更短的尺寸，更长的尺寸位于供应RF功率的电极（12,14）之间，并且适合于引导腔内激光的较短尺寸由 陶瓷侧壁（16,18）。 较长维数的菲涅尔数至少为一。

    Laser apparatus
    50.
    发明公开
    Laser apparatus 失效
    激光装置

    公开(公告)号：EP0553687A3

    公开(公告)日：1993-10-20

    申请号：EP93100720.7

    申请日：1993-01-19

    申请人： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA

    发明人： Kuzumoto, Masaki, c/o Mitsubishi Denki K. K. ,  Takenaka, Yushi, c/o Mitsubishi Denki K. K. ,  Nishimae, Jun-ichi, c/o Mitsubishi Denki K. K. ,  Yoshizawa, Kenji, c/o Mitsubishi Denki K. K. ,  Yamamoto, Takashi, c/o Mitsubishi Denki K. K.

    IPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/03 ,  H01S3/07 ,  H01S3/06 ,  H01S3/041

    CPC分类号： H01S3/0975 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/041 ,  H01S3/0602 ,  H01S3/07 ,  H01S3/076

    摘要： According to the present invention there is provided a laser apparatus capable of efficient oscillation with an excitation power source (3) with comparatively low frequency, wherein discharge (DC) is obliquely generated within the rectangular section of a discharge space (4). There is also provided a laser apparatus with a pair of preliminary discharge excitation electrodes (112,222) which can readily initiate discharge. There is further provided a laser apparatus capable of efficient oscillation with an excitation power source (3) with comparatively low frequency, wherein provided is a pair of discharge excitation electrodes (1,2) located in the major side direction of discharge space (4) whose length is more than three times as long as that of minor side direction thereof. There is further provided a laser apparatus with a pair of discharge excitation electrodes (1,2) whose dimension is smaller than that of a pair of dielectric plates (10,20), which apparatus can prevent undesirable discharge. There is also provided a laser apparatus with more than three discharge spaces (4a,4b,4c) at least one of which is given a lower electric field having the apparatus oscillate efficiently. There is further provided a laser apparatus with an improved oscillation efficiency wherein furnished are dielectric double pipes (105,205) creating a substantially large discharge space (4).

    摘要翻译： 根据本发明，提供了一种激光装置，其能够利用具有较低频率的激励电源（3）有效地振荡，其中放电（DC）在放电空间（4）的矩形部分内倾斜地产生。 还提供了一种具有一对能够容易地开始放电的预放电激励电极（112,222）的激光装置。 还提供了一种激光装置，其能够利用频率较低的激励电源（3）进行有效振荡，其中设置有位于放电空间（4）的主侧方的一对放电激励电极（1,2） 其长度是其较小侧方的长度的三倍以上。 还提供一种具有一对放电激励电极（1,2）的激光设备，其尺寸小于一对介电板（10,20）的尺寸，该设备可以防止不希望的放电。 还提供了一种具有三个以上放电空间（4a，4b，4c）的激光装置，其中至少一个放电空间具有较低的电场，使装置有效地振荡。 还提供了一种具有改进的振荡效率的激光装置，其中具有产生相当大的放电空间（4）的电介质双管（105,205）。