公开(公告)号：EP3114515A4

公开(公告)日：2017-11-29

申请号：EP15759247

申请日：2015-03-09

申请人： SKORPIOS TECH INC

发明人： LI GUOLIANG ,  KUMAR NIKHIL ,  CHAOUCH HACENE

IPC分类号： G02B6/36 ,  G02B6/122 ,  H01S5/02

CPC分类号： H01S5/12 ,  G02B6/1228 ,  G02B6/125 ,  G02B2006/12097 ,  G02B2006/12147 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/063 ,  H01S3/0635 ,  H01S3/0675 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/1003 ,  H01S3/1055 ,  H01S5/021 ,  H01S5/0612 ,  H01S5/0683 ,  H01S5/1032 ,  H01S5/1218 ,  H01S5/1234 ,  H01S5/141 ,  H01S5/3013

摘要： An optical, directional coupler has a first input, a second input, a first output, and a second output. The coupler is made with a shoulder disposed on a substrate and a first ridge and a second ridge disposed on the shoulder. The first ridge extends from the first input to the first output. The second ridge extends from the second input to the second output. The shoulder, the first ridge, and the second ridge taper to provide coupling and are modified to select a coupling ratio.

公开(公告)号：EP2628218B1

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：EP11842914.1

申请日：2011-11-07

申请人： Iradion Laser, Inc.

发明人： MORROW, Clifford, E. ,  WEINGARTNER, Wendelin

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/03 ,  H01S3/08 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/032 ,  H01S3/034

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/005 ,  H01S3/03 ,  H01S3/032 ,  H01S3/0323 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08081 ,  H01S3/0971

公开(公告)号：EP2628218A4

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：EP11842914

申请日：2011-11-07

申请人： IRADION LASER INC

发明人： MORROW CLIFFORD E ,  WEINGARTNER WENDELIN

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/03 ,  H01S3/032 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08 ,  H01S3/0971

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/005 ,  H01S3/03 ,  H01S3/032 ,  H01S3/0323 ,  H01S3/034 ,  H01S3/08081 ,  H01S3/0971

公开(公告)号：EP2641302A1

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：EP11805172.1

申请日：2011-11-10

申请人： Gigaphoton Inc.

发明人： NOWAK, Krzysztof ,  SUGANUMA, Takashi ,  WAKABAYASHI, Osamu

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/03 ,  H01S3/23 ,  H05G2/00

CPC分类号： H01S3/2366 ,  H01S3/005 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/2375 ,  H05G2/008

摘要： An EUV light generation system includes a driver laser comprising a master oscillator such as a semiconductor laser, a spatial filter, gas slab amplification devices, relay optical systems, and high-speed axial-flow amplifiers. The slab amplification devices include beam adjusting optical units disposed, respectively, at input and output sides of the slab amplifiers SA to convert the beam profile and/or polarization direction and/or an elongated direction of the beam profile with the slab amplifiers is parallel to a free space axis AF of the slab waveguides, i.e. parallel to the discharge electrodes.

公开(公告)号：EP1979996A4

公开(公告)日：2010-04-28

申请号：EP07763410

申请日：2007-02-01

申请人： VIDEOJET TECHNOLOGIES INC

发明人： MONTY NATHAN P

IPC分类号： H01S3/03 ,  H01S3/038

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/041 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975

公开(公告)号：EP1979996A2

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：EP07763410.3

申请日：2007-02-01

申请人： VideoJet Technologies

发明人： MONTY, Nathan, P.

IPC分类号： H01S3/03

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/041 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975

摘要： Certain example embodiments of this invention relate to waveguide lasers (e.g., RF-excited waveguide lasers). Certain example embodiments of this invention provide combined waveguide cover and non-coupled top electrodes, and/or heat load balancing vacuum vessels including multiple (e.g., two or more) chambers. In certain example embodiments, RF energy may couple through the combined waveguide cover and non-coupled top electrode without significantly traversing the insulating carrier material via one or more cutouts or gaps formed in the RF coupling region of the top (or even a bottom) electrode. In certain example embodiments, first and second chambers of the vacuum vessel may be arranged so that heat generated in the discharge region flows away from the first and second chambers, thereby reducing thermally induced distortion of the optical component during laser operation. These techniques may be used alone or in various combinations.

公开(公告)号：EP1738443A4

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：EP05705508

申请日：2005-01-12

申请人： LITELASER L L C

发明人： MONTY NATHAN PAUL

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/03 ,  H01S3/034 ,  H01S3/038 ,  H01S3/063 ,  H01S3/07 ,  H01S3/097

CPC分类号： H01S3/0315 ,  H01S3/034 ,  H01S3/038 ,  H01S3/076 ,  H01S3/0804 ,  H01S3/0971

公开(公告)号：EP1709713A1

公开(公告)日：2006-10-11

申请号：EP04812473.9

申请日：2004-11-30

申请人： COHERENT, INC.

发明人： DEMARIA, Anthony, J. ,  NEWMAN, Leon, A. ,  SEQUIN, Vernon

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/23

CPC分类号： G02B27/0927 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/067 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/0736 ,  G02B27/0977 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/08031 ,  H01S3/10092 ,  H01S3/105 ,  H01S3/2232 ,  H01S3/2383

摘要： Multiple laser beams, each having a shape such as a Gaussian profile (200), can be incoherently combined to obtain a shaped, flat top laser beam (300, 400). The combined laser beams can provide power levels necessary for material processing applications such as annealing, drilling, and cutting, while minimizing the amount of unused power. The lasers can be positioned in an array (700, 800) in order to shape the flat top beam, and can be staggered in position where necessary to give each output beam an equal beam path length. The relative frequencies and/or powers of the lasers can be adjusted to control the flatness and stability of the incoherently combined beam.

公开(公告)号：EP1026796B1

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：EP00300719.2

申请日：2000-01-31

申请人： TADAHIRO OHMI ,  CANON KABUSHIKI KAISHA

发明人： Ohmi, Tadahiro ,  Suzuki, Nobumasa, c/o Canon Kabushiki Kaisha ,  Tanaka, Nobuyoshi, c/o Canon Kabushiki Kaisha ,  Hirayama, Masaki, c/o Canon Kabushiki Kaisha ,  Ohsawa, Hiroshi, c/o Canon Kabushiki Kaisha ,  Shinohara, Toshikuni, c/o Canon Kabushiki Kaisha

IPC分类号： H01S3/0973 ,  H01S3/225 ,  H01S3/03 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70025 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/225

公开(公告)号：EP1191648A3

公开(公告)日：2004-12-29

申请号：EP01121879.9

申请日：2001-09-12

申请人： TRUMPF LASERTECHNIK GmbH

发明人： Zeller, Thomas

IPC分类号： H01S3/038 ,  H01S3/041

CPC分类号： H01S3/041 ,  H01S3/0315 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0407 ,  H01S3/2232

摘要： Ein Laser mit wenigstens zwei Elektrodenrohren (2,3), von denen das eine (3) innerhalb des anderen (2) angeordnet ist, weist eine Kühleinrichtung (18) auf, die ihrerseits zumindest eine innerhalb des inneren Elektrodenrohres (3) angeordnete innere Kühlmittelleitung (11) und/oder zumindest eine außerhalb des äußeren Elektrodenrohres angeordnete äußere Kühlmittelleitung (10) umfasst. Zur Gewährleistung eines wirksamen Wärmeüberganges wird mittels einer inneren Stützeinrichtung (17) die innere Kühlmittelleitung (11) an dem inneren Elektrodenrohr (3) oder einer damit wärmeübertragend in Verbindung stehenden Fläche anliegend gehalten. Entsprechend wird die äußere Kühlmittelleitung (10) mittels einer äußeren Stützeinrichtung (16) mit ihrer Wandung an dem äußeren Elektrodenrohr (2) oder einer damit wärmeübertragend in Verbindung stehenden Fläche anliegend gehalten.