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    OPTISCHER KOHÄRENZTOMOGRAPHIESCANNER UND VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER TOPOLOGIE UND/ODER DER ANISOTROPIE EINES OPTISCH TRANSPARENTEN FLÄCHENKÖRPERS
    64.
    发明公开
    OPTISCHER KOHÄRENZTOMOGRAPHIESCANNER UND VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER TOPOLOGIE UND/ODER DER ANISOTROPIE EINES OPTISCH TRANSPARENTEN FLÄCHENKÖRPERS 审中-公开

    公开(公告)号：EP4446693A1

    公开(公告)日：2024-10-16

    申请号：EP23168013.3

    申请日：2023-04-14

    申请人： Heraeus Consulting & IT Solutions GmbH

    发明人： Hornung, Thomas

    IPC分类号： G01B9/02015 ,  G01B9/02091 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30

    摘要： Die zu Grunde liegende Erfindung betrifft einen optischen Kohärenztomographiescanner (1) zur kontaktlosen Ermittlung einer Topologie und/oder Anisotropie eines zumindest abschnittsweise optisch transparenten, ein- oder mehrschichtigen Flächenkörpers (2), wie beispielsweise eine einer Glasscheibe oder einer Verbundglasscheibe. Der Kohärenztomographiescanner (1) umfasst eine Messeinheit (4) mit einer Messstrecke (M) mit mehreren stationären Sensoreinheiten (8, 10) und eine Transfereinheit (3) mit einer Förderplattform (6) zur Auflage des Flächenkörpers (2), wobei die Förderplattform (6) eine Förderebene (E) der Fördereinheit (3) definiert, und die Fördereinheit (3) dazu eingerichtet ist, den Flächenkörper (2) in einer im Wesentlichen linearen Förderrichtung (F) parallel zur Förderebene (E) durch die Messstrecke (M) und flächig an den Sensoreinheiten (9, 11) vorbei zu fördern. Die Messeinheit (M) umfasst als Sensoreinheiten zumindest eine optische Kohärenztomographiesensoreinheit (9) zur Erfassung von Topologie- und/oder Anisotropiedaten des Flächenkörpers (2) mittels optischer Kohärenztomographie und zumindest eine optische Positionssensoreinheit (10) zur Erfassung einer Raumposition des Flächenkörpers (2). Die Kohärenztomographiesensoreinheit (1) umfasst ferner einen sich quer zur Förderrichtung (F) und im Wesentlichen parallel zur Förderebene (E) erstreckenden Messarm (8), dessen Länge eine senkrecht zur Förderrichtung (F) gemessene Breite (B) der Messstrecke (M) festlegt, wobei der Messarm (8) zumindest einen Kohärenztomographiesensor (9) mit einer der Förderebene (E) zugewandten Messseite aufweist.

    SCANNING MIRROR SYSTEM
    67.
    发明公开
    SCANNING MIRROR SYSTEM 审中-公开

    公开(公告)号：EP4420595A1

    公开(公告)日：2024-08-28

    申请号：EP23158561.3

    申请日：2023-02-24

    申请人： Leica Microsystems Inc.

    发明人： HART, Robert H.

    IPC分类号： A61B3/10 ,  A61B5/00 ,  G01B9/02091 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

    CPC分类号： A61B5/0066 ,  A61B3/102 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/101

    摘要： A scanning mirror system (310, 1100) comprising a MEMS scanning mirror assembly (310), the scanning mirror assembly comprising a reflective surface (334), wherein the scanning mirror assembly is configured to reflect a primary light beam in a first optical plane, the reflected primary light beam (312) forming a scanning beam (312), reflect a secondary light beam (400) in a second optical plane, the reflected secondary light beam forming a mirror position reference beam (402); and a position sensitive detector (160), wherein after reflection by the reflective surface (334), the mirror position reference beam (402) is incident on the PSD (160), and the PSD (160) is configured to detect the position of incidence of the mirror position reference beam (402), and wherein any stray light returned from the PSD (160) towards the reflective surface (334) is reflected by the reflective surface (334) in a third optical plane different from the first and second optical planes.