公开(公告)号：EP1244136A2

公开(公告)日：2002-09-25

申请号：EP02006146.1

申请日：2002-03-19

申请人： NORDSON CORPORATION

发明人： Condrashoff, Robert S. ,  Fazio, James P. ,  Hoffmann, David E. ,  Tyler, James S.

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67069 ,  H01J37/32743 ,  Y10S414/139

摘要： A plasma treatment system in which untreated workpieces are serially received one at a time on an infeed table but stored in parallel on the infeed table. The untreated workpieces are transferred simultaneously, in parallel, into a plasma treatment chamber. Thereafter, treated workpieces are transferred simultaneously, in parallel, out of the plasma treatment chamber onto an outfeed table; and the outfeed table serially discharges the treated workpieces one at a time from the outfeed table.

摘要翻译： 等离子体处理系统，其中，未处理的工件是串行地接收到一个在一个时间上，以进料台，但存储在进给台平行。 未处理的工件被同时传送，并行到等离子体处理室。 有后，处理过的工件被同时传送，并行地进行所述等离子体处理室的走上在出料台; 和出料台连续放电处理后的工件一个从出料表的时间。

公开(公告)号：EP1203619A2

公开(公告)日：2002-05-08

申请号：EP01124836.6

申请日：2001-10-18

申请人： NORDSON CORPORATION

发明人： Schnödewind, Franz-Josef

IPC分类号： B05C1/10

CPC分类号： B05C1/10 ,  B05C1/003

摘要： Die Erfindung betrifft eine Rad-Auftragsvorrichtung zum Auftragen eines Fluids, insbesondere Klebstoff, auf ein Substrat, mit einer an einem Gehäuse rotierbar gelagerten Auftragswalze (2), auf deren Umfangsfläche (28) Fluid aufbringbar ist und die mit dem Substrat so in Kontakt bringbar ist, dass Fluid von der Umfangsfläche (28) der Auftragswalze (2) auf das Substrat übertragen wird. Erfindungsgemäß wird vorschlagen, dass in der Auftragswalze (2) mindestens ein Fluidkanal (24) ausgebildet ist, der einerseits mit einer Fluidquelle verbindbar ist und der andererseits in die Umfangsfläche (28) mündet, und dass in dem Fluidkanal eine eine Vielzahl von kommunizierenden Hohlräumen aufweisende, fluiddurchlässige Struktur (34) ausgebildet ist.

摘要翻译： 施加器在壳体上具有旋转的施加辊（2），以施加流体，尤其是。 粘合剂等。 辊具有内部流体通道（24），其连接到流体源并且通向外围辊表面。 流体通道包含具有流体容纳室的流体可渗透结构（34）。 该结构由装配到辊道中的单独部件形成，由烧结材料，烧结金属，泡沫，编织材料，编织金属等组成。辊还包含电加热筒（52）和/或温度 传感器。