公开(公告)号：EP4409274A1

公开(公告)日：2024-08-07

申请号：EP22799640.2

申请日：2022-05-06

申请人： INFICON, Inc. ,  Song, Chunhua ,  Rinzan, Mohamed ,  Lakeman, Steve ,  Baumgartel, Lukas ,  Lapidot, Matan ,  O'Neill, Brian

发明人： SONG, Chunhua ,  RINZAN, Mohamed ,  LAKEMAN, Steve ,  BAUMGARTEL, Lukas ,  LAPIDOT, Matan ,  O'NEILL, Brian

IPC分类号： G01N29/02 ,  G01K7/32 ,  G01N29/036 ,  G01B7/06

CPC分类号： G01N29/036 ,  G01K7/32 ,  G01N29/022 ,  G01N29/326 ,  G01B7/066 ,  G01G3/16 ,  G01G3/18