公开(公告)号：EP2803959A1

公开(公告)日：2014-11-19

申请号：EP14167350.9

申请日：2014-05-07

申请人： MAZet GmbH

发明人： Sieß, Gunter ,  Röppischer, Dr. Marcus ,  Krüger, Dr. Wilfried

IPC分类号： G01J1/04 ,  G01J1/42 ,  G01J3/50 ,  H01L31/0216

CPC分类号： H01L27/14625 ,  G01J1/0418 ,  G01J1/0477 ,  G01J1/42 ,  G01J3/50 ,  H01L27/1446 ,  H01L31/02165

摘要： Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung mit einem siliziumbasierten optischen Sensor, insbesondere Farbsensoren für kolorimetrische Anwendungen.
Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Unterdrückung der Interferenzrippel von optischen Sensoren, die bei der Hinzufügung von Substraten mit optisch funktionellen Beschichtungen entstehen, zu finden, die eine einfache Herstellung ohne komplizierte Anpassungsschichten gestattet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem die Sensorpassivierung aus einer Kombination von einer dünnen SiO 2 -Schicht (12) im Bereich von 5 bis 10 nm und einer entspiegelungsangepassten Si 3 N 4 -Schicht (13) zusammengesetzt ist, über der Sensorpassivierung ein mindestens ein optisches Filter (21) tragendes Substrat (2) angeordnet ist, das mit dem Sensor (1) mittels eines Klebstoffs (31) verbunden ist und zwischen Sensorfläche (11) und zugeordnetem optischem Filter einen Zwischenraum (3) für eine optische Schicht (32; 33) mit niedrigem Brechungsindex (n 2 ) ausbildet, die eine Höhenvariation (Δh) über der zugeordneten Sensorfläche (11) aufweist.

摘要翻译： 与基于硅的光学传感器，特别是彩色传感器，用于比色应用的传感器布置游离缺失盘。 本发明目的在于找到用于抑制干扰波纹发生的光传感器当与光学功能的涂层，其允许简单的制造无需复杂的适配层加入底物的新颖可能性。 该传感器钝化是由薄的SiO 2层的在5的范围内的组合的10nm且在防反射匹配的氮化硅层和承载至少一个滤光器的基片是通过装置，其设置在传感器的钝化和连接到所述传感器 的粘合剂和的传感器表面和光学滤波器的所有填充有在光学介质具有低折射率（n2）并在相关联的传感器表面的高度变化（.DELTA.h）之间的中间空间的形式。

公开(公告)号：EP1521069A3

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：EP04023051.8

申请日：2004-09-28

申请人： MAZet GmbH

发明人： Grunert, Fred, Dr. ,  Krumbein, Frank ,  Siess, Gunter

IPC分类号： G01J3/51 ,  G01J1/42

CPC分类号： G01J3/51 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/465 ,  G01J3/513

摘要： Die Erfindung betrifft einen Photosensor zur Farbmessung auf Basis von drei Spektralanteilen, insbesondere für die hochgenaue Farbmessung bei der Prüfung und Sicherung der Farbkonstanz von technischen Oberflächen und beliebigen Konsumgütern.
Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Farbmessung auf Basis eines Dreibereichsverfahrens mit durch vorgelagerte unterschiedlich spektralempfindliche Interferenzfilter erzeugten Farbmesswerten zu finden, die mit einfachen Mitteln eine nahezu normgerechte Echtfarben-Messung ohne aufwendige Bezugslichtkalibrierung gestattet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem der Photosensor aus mindestens drei mit unterschiedlichen auf die X-, Y- und Z-Spektralcharakteristik des menschlichen Auges angepassten Interferenzfiltern bedeckten Teilflächen besteht, die jeweils flächengleich und kreissektorförmig gleichverteilt um ein Zentrum mit dazwischenliegenden passivierten Stegen angeordnet sind, und jede Teilfläche mit einem in seiner Transmissionscharakteristik über die Wellenlänge des spektral zu messenden Lichts der Empfindlichkeit des menschlichen Auges angepasstes Interferenzfilter versehen ist, wobei die durchgelassenen Spektralanteile der Interferenzfilter jeweils den Normspektralwertfunktionen des menschlichen Auges in Farbkoordinaten des Farbraumes angenähert sind.

公开(公告)号：EP1521069B1

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：EP04023051.8

申请日：2004-09-28

申请人： MAZeT GmbH

发明人： Grunert, Fred, Dr. ,  Krumbein, Frank ,  Siess, Gunter

IPC分类号： G01J3/51 ,  G01J1/42

CPC分类号： G01J3/51 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/465 ,  G01J3/513

公开(公告)号：EP1521069A2

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：EP04023051.8

申请日：2004-09-28

申请人： MAZet GmbH

发明人： Grunert, Fred, Dr. ,  Krumbein, Frank ,  Siess, Gunter

IPC分类号： G01J3/51

CPC分类号： G01J3/51 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/465 ,  G01J3/513

摘要： Die Erfindung betrifft einen Photosensor zur Farbmessung auf Basis von drei Spektralanteilen, insbesondere für die hochgenaue Farbmessung bei der Prüfung und Sicherung der Farbkonstanz von technischen Oberflächen und beliebigen Konsumgütern.
Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Farbmessung auf Basis eines Dreibereichsverfahrens mit durch vorgelagerte unterschiedlich spektralempfindliche Interferenzfilter erzeugten Farbmesswerten zu finden, die mit einfachen Mitteln eine nahezu normgerechte Echtfarben-Messung ohne aufwendige Bezugslichtkalibrierung gestattet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem der Photosensor aus mindestens drei mit unterschiedlichen auf die X-, Y- und Z-Spektralcharakteristik des menschlichen Auges angepassten Interferenzfiltern bedeckten Teilflächen besteht, die jeweils flächengleich und kreissektorförmig gleichverteilt um ein Zentrum mit dazwischenliegenden passivierten Stegen angeordnet sind, und jede Teilfläche mit einem in seiner Transmissionscharakteristik über die Wellenlänge des spektral zu messenden Lichts der Empfindlichkeit des menschlichen Auges angepasstes Interferenzfilter versehen ist, wobei die durchgelassenen Spektralanteile der Interferenzfilter jeweils den Normspektralwertfunktionen des menschlichen Auges in Farbkoordinaten des Farbraumes angenähert sind.

摘要翻译： 光电管组件具有壳体（3），其前部具有窗口（31），其具有IR滤光器（32）。 传感器芯片（1）安装在基板上，并且具有三个不同的光电管（11）或具有干涉滤光器（2）的光电池组，从而对三种不同波长的光敏感。 有三个不同的接触针（4），每个具有与不同光电管之一的触点。