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    Method for observing microscopic surface structure
    1.
    发明公开
    Method for observing microscopic surface structure 失效
    电子反射衍射仪和用于观察微观表面结构的方法。

    公开(公告)号：EP0460305A1

    公开(公告)日：1991-12-11

    申请号：EP90306073.9

    申请日：1990-06-04

    申请人： Mikoshiba, Nobuo ,  Ohmi, Tadahiro ,  Tsubouchi, Kazuo ,  Masu, Kazuya

    发明人： Mikoshiba, Nobuo ,  Ohmi, Tadahiro ,  Tsubouchi, Kazuo ,  Masu, Kazuya

    IPC分类号： G01N23/20 ,  H01J37/295

    CPC分类号： H01J37/2955 ,  G01N23/20058 ,  H01J2237/255

    摘要： A reflectio high energy electron diffraction apparatus comprises an electro beam source (1) for emitting as thin an electron beam as 0.1 micormeter in diameter,
       a goniometric sample holder (5);
       a fluorescent screen (6);
       a plurality of displaceable light guides (7a, 7b, 7c);
       a phtoelectric converting means (8a, 8b, 8c);
       an arithmetic means (9); and
       a means for making said electron beam scan a sample held by said goniometric sample holder (5).

    摘要翻译： 甲reflectio高能电子衍射装置包括向电束源（1），用于发射细如0.1至电子束micormeter直径，测角样本保持器（5）; 荧光屏（6）; 可移动的导光体的多个（图7A，7B，7C）; 一个phtoelectric转换装置（8A，8B，8C）; 到运算装置（9）; 和用于使所述电子束扫描由所述测角样本保持器（5）保持的样品的装置。