公开(公告)号：EP4095387A2

公开(公告)日：2022-11-30

申请号：EP22199874.3

申请日：2020-09-29

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Willig, Michael ,  Hofmann, Jan ,  Becker, Jonas ,  Bernhardt, Gernot ,  Wangorsch, Verena ,  Kallenborn, Stefan ,  Söhngen, Wolfgang ,  Schaefer, Heiko ,  Harapat, Erhard ,  Pauli, Lars

IPC分类号： F04C18/02 ,  F04C25/02

摘要： Scrollpumpe (20), umfassend einen in die Scrollpumpe (20) integrierten Drucksensor (60) oder mehrere in die Scrollpumpe (20) integrierte Drucksensoren (60),
wobei der Drucksensor (60) in einem Kühlluftstrom einer Kühleinrichtung (44), insbesondere eines Lüfters (44), der Scrollpumpe (20) angeordnet ist, insbesondere wobei der Drucksensor zumindest im Wesentlichen am Anfang des Kühlluftstromes, nämlich benachbart zu einem Lüfter und/oder innerhalb einer Luftleithaube (46), angeordnet ist,
und/oder wobei der Drucksensor (60) innerhalb einer Luftleithaube (46) der Scrollpumpe (20) angeordnet und in ein feststehendes Spiralbauteil (24) der Scrollpumpe (20) eingeschraubt ist.

公开(公告)号：EP3974655A3

公开(公告)日：2022-06-29

申请号：EP22156933.8

申请日：2020-09-29

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Willig, Michael ,  Hofmann, Jan ,  Becker, Jonas ,  Bernhardt, Gernot ,  Wangorsch, Verena ,  Kallenborn, Stefan ,  Söhngen, Wolfgang ,  Schaefer, Heiko ,  Harapat, Erhard ,  Pauli, Lars

IPC分类号： F01C21/10 ,  F04C25/02 ,  F04D19/04

摘要： Die Erfindung betrifft eine Scrollpumpe umfassend ein bewegliches, zum Erzeugen einer Pumpwirkung exzentrisch erregbares Spiralbauteil, wobei das Spiralbauteil eine Grundplatte und eine sich ausgehend von der Grundplatte erstreckende Spiralwand aufweist, wobei außen an der Grundplatte wenigstens zwei über den Umfang der Grundplatte beabstandete Haltevorsprünge derart vorgesehen sind, dass während der Herstellung der Scrollpumpe die Backen eines Backenfutters an den Haltevorsprüngen angreifen können, um das Spiralbauteil einzuspannen.

公开(公告)号：EP3792625A1

公开(公告)日：2021-03-17

申请号：EP20195655.4

申请日：2020-09-11

申请人： Pfeiffer Vacuum ,  PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： KAMBARA, Hisanori ,  WIELSCH, Pascal ,  BIRKENFELD, Maximilian

IPC分类号： G01N29/07 ,  G01N29/11

摘要： A vacuum apparatus (5) comprising a vacuum enclosure (17) having a circumferential surface and an inner surface to be placed under vacuum and further comprises at least one guided surface acoustic waves device (18) and a control unit (19) configured to control the piezo-electric transducers (20, 21) to monitor a variation of at least one parameter of a surface acoustic wave propagating along the circumferential surface of the vacuum enclosure (17) to detect by-products deposition (23) on the circumferential surface and/or to determine the properties of the by-product deposition (23).

公开(公告)号：EP3318764B1

公开(公告)日：2020-11-11

申请号：EP17207279.5

申请日：2006-09-13

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Losch, Wolfgang ,  Müller, André

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/02 ,  F04D25/06 ,  F04D27/00

公开(公告)号：EP3135917B1

公开(公告)日：2020-10-07

申请号：EP15182200.4

申请日：2015-08-24

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Gilbrich, Sönke

IPC分类号： F04D17/16 ,  F01C19/00 ,  F04B39/12 ,  F04D19/04 ,  F04D29/08 ,  F16J15/10

公开(公告)号：EP3106668B1

公开(公告)日：2020-08-12

申请号：EP15172543.9

申请日：2015-06-17

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Schill, Michael ,  Leib, Uwe ,  Koch, Bernhard

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D29/058 ,  F04D29/059

公开(公告)号：EP3683449A1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：EP19217633.7

申请日：2019-12-18

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Die Erfindernennung liegt noch nicht vor

IPC分类号： F04D29/058 ,  F04D19/04 ,  F16C32/04

摘要： Die Erfindung betrifft ein Magnetlager, insbesondere für eine Vakuumpumpe, aufweisend: einen Stator; einen Elektromagnet; einen in dem Stator mittels zumindest des Elektromagnets gelagerten Rotor; eine zum Regeln einer relativen Position des Rotors bezüglich des Stators mittels des Elektromagnets eingerichtete Regelungseinheit; und eine zum Erzeugen einer Spannung basierend auf einer Bewegung des Rotors bezüglich des Stators und zum Bereitstellen der erzeugten Spannung als Versorgungsspannung für die Regelungseinheit eingerichtete Generatoreinheit.

公开(公告)号：EP1903530B1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：EP07017431.3

申请日：2007-09-06

申请人： Pfeiffer Vacuum GmbH

发明人： Böttcher, Jochen

IPC分类号： G08C19/00 ,  G08C17/02

公开(公告)号：EP3647599A2

公开(公告)日：2020-05-06

申请号：EP19201749.9

申请日：2019-10-07

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Willig, Michael ,  Hofmann, Jan ,  Becker, Jonas ,  Bernhardt, Gernot ,  Wangorsch, Verena ,  Kallenborn, Stefan ,  Söhngen, Wolfgang ,  Schaefer, Heiko

IPC分类号： F04D19/04 ,  F01C21/10 ,  F04C25/02

摘要： Die Erfindung betrifft unter anderem eine Vakuumpumpe, insbesondere Scrollpumpe, mit einem Elektronikgehäuse, in dem eine oder mehrere Elektronikkomponenten angeordnet sind, wobei innerhalb des Elektronikgehäuses für wenigstens eine Elektronikkomponente eine gesonderte Kammer vorgesehen ist, in der die Elektronikkomponente vergossen ist.

公开(公告)号：EP3633204A1

公开(公告)日：2020-04-08

申请号：EP19195628.3

申请日：2019-09-05

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Wang, Jinou

IPC分类号： F04D19/04 ,  F04D27/00 ,  F04D29/058

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend: einen Rotor, der zum Bewirken einer Pumpwirkung zu einer Drehbewegung antreibbar ist; ein erstes und ein zweites Radiallager für den Rotor, wobei das erste Radiallager ein aktiv geregeltes Magnetlager ist und wobei das zweite Radiallager als passives Magnetlager ausgebildet ist; eine erste Radialsensoranordnung zur Bestimmung einer Radialauslenkung des Rotors in einem ersten Axialbereich; und eine zweite Radialsensoranordnung zur Bestimmung einer Radialauslenkung in einem zweiten, vom ersten verschiedenen Axialbereich.