公开(公告)号：EP1707989A1

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：EP05703358.1

申请日：2005-01-07

申请人： Takahashi, Hiroyuki ,  Kai, Masayoshi

发明人： Takahashi, Hiroyuki ,  Kai, Masayoshi

IPC分类号： G01T1/18 ,  H01J47/14

CPC分类号： G01T1/2935

摘要： Electrodes for detecting the position of an incident particle are formed by a global position detection electrode for detecting the global position of the incident particle and a plurality of local position detection electrodes for detecting the local position of the incident particle. The position of the incident particle is identified from the global position information detected by the global position detection electrode and the local position information detected by the local position detection electrodes. A plurality of local position detection electrodes are divided into a plurality of groups and local position detection electrodes belonging to each group are connected to a common signal line. A predetermined number of local position detection electrodes correspond to one global position and the predetermined number of local position detection electrodes corresponding to one global position belong to different groups.

摘要翻译： 用于检测入射粒子的位置的电极由用于检测入射粒子的总体位置的全局位置检测电极和用于检测入射粒子的局部位置的多个局部位置检测电极形成。 根据由全局位置检测电极检测到的全局位置信息和由局部位置检测电极检测到的局部位置信息来识别入射粒子的位置。 多个局部位置检测电极被分成多个组，并且属于每个组的局部位置检测电极连接到公共信号线。 预定数量的局部位置检测电极对应于一个全局位置，并且对应于一个全局位置的预定数量的局部位置检测电极属于不同的组。