公开(公告)号：EP4055204A1

公开(公告)日：2022-09-14

申请号：EP19800914.4

申请日：2019-11-06

申请人： Wieland-Werke AG ,  Wieland Wicoatec GmbH

发明人： SZABO, Jan ,  MERKEL, Till ,  SPERLE, Gerd

IPC分类号： C23C16/40

公开(公告)号：EP4055203A1

公开(公告)日：2022-09-14

申请号：EP20803452.0

申请日：2020-11-02

申请人： Robert Bosch GmbH ,  Wieland Wicoatec GmbH

发明人： MERKEL, Till ,  SZABO, Jan ,  EGLE, Philipp-Morris ,  KLETT, Gustav ,  SCHUERER, Martin ,  AICHELE, Wilfried

IPC分类号： C23C16/30 ,  B05D1/00 ,  H01L23/29 ,  B32B7/12 ,  B05D3/10