公开(公告)号：EP0910109B1

公开(公告)日：2004-09-15

申请号：EP97116910.7

申请日：1997-09-29

申请人： ADVANTEST CORPORATION

发明人： Frosien,Jürgen,Dr. ,  Lanio,Stefan,Dr. ,  Schönecker,Gerald,Dr.

IPC分类号： H01J37/145

CPC分类号： H01J37/145

公开(公告)号：EP0910109A1

公开(公告)日：1999-04-21

申请号：EP97116910.7

申请日：1997-09-29

申请人： ADVANTEST CORPORATION

发明人： Frosien,Jürgen,Dr. ,  Lanio,Stefan,Dr. ,  Schönecker,Gerald,Dr.

IPC分类号： H01J37/145

CPC分类号： H01J37/145

摘要： Die Erfindung betrifft eine Objektivlinse zur Beeinflussung eines Korpuskularstrahls, insbesondere eines Elektronenstrahls mit einer magnetischen Einzelpollinse und einer elektrostatischen Linse, die eine erste und eine zweite Elektrode aufweist, die mit unterschiedlichen Potentialen beaufschlagbar sind. Die Objektivlinse ist dadurch gekennzeichnet, daß die elektrostatische Linse in Richtung des Korpuskularstrahls nach der magnetischen Einzelpollinse angeordnet ist.

摘要翻译： 透镜具有磁性单极透镜（1）和具有经受不同电位的第一（20）和第二（21）电极的静电透镜（2）。 静电透镜在磁透镜之后沿着红细胞束（4）的方向排列，