公开(公告)号：EP0963572A1

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：EP98946687.0

申请日：1998-10-22

申请人： ASM LITHOGRAPHY B.V.

发明人： SPERLING, Frank, Bernard ,  LOOPSTRA, Erik, Roelof ,  PEIJNENBURG, Antonius, Theodorus, Adrianus

IPC分类号： G03F7 ,  G03F9 ,  H01L21

CPC分类号： G03F7/70716 ,  Y10T74/20341

摘要： The positioning device (3) has a first part displaceable relative to a second part having an object table (5). The second part is displaceable relative to the first part about X,Y and Z axes by three motors (75,77,79) each having an electrical coil system (81,83,85) cooperating with a permanent magnet system. The main axis of each of the motors encloses an angle of 120[deg] with the main axis of each of the other two motors. In this manner the points of application on the second part of the driving forces of the motors are uniformly distributed relative to the second part, so that driving forces can be uniformly transmitted to the object table by a simple, light stiffening structure of the second part.

摘要翻译： 所述定位装置（3）具有第一部分可移动的相对于具有到对象表的第二部分（5）。 第二部分是相对于由三个电机（75,77,79），每个具有在电线圈系统（81,83,85）与一个永久磁铁系统合作绕X，Y和Z轴的第一部分可移动的，主轴线 的每个马达的包围在与每个其它两个马达的主轴线的120°]的角度。 以这种方式对马达的驱动力的第二部分应用的点被相对均匀地分布在第二部分中，所以没驱动力可以被均匀地反式通过所述第二部分的一个简单的，重量轻的加强结构mitted到物体表 ，