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发明公开
OPTICAL ELEMENT FOR GENERATION OF BROADBAND RADIATION 审中-实审

公开(公告)号：EP4334766A1

公开(公告)日：2024-03-13

申请号：EP22722277.5

申请日：2022-04-12

申请人： ASML Netherlands B.V.

发明人： UEBEL, Patrick, Sebastian , PONGERS, Willem, Richard , SMEETS, Ralph, Jozef, Johannes, Gerardus, Anna, Maria , ABDOLVAND, Amir , PUTHANKOVILAKAM, Krishnaparvathy

IPC分类号： G02B6/00 , G03F1/00 , G02F1/365 , G02B6/02 , C03B37/012 , G03F7/20 , B82Y20/00