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公开(公告)号:EP0840131B1
公开(公告)日:2005-12-14
申请号:EP97113043.0
申请日:1997-07-29
IPC分类号: G01R1/073
CPC分类号: G01R1/07378 , G01R1/07328 , G01R1/07357 , G01R1/07371
公开(公告)号:EP0840131B1
公开(公告)日:2005-12-14
申请号:EP97113043.0
申请日:1997-07-29
IPC分类号: G01R1/073
CPC分类号: G01R1/07378 , G01R1/07328 , G01R1/07357 , G01R1/07371