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公开(公告)号:EP0840130B1
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:EP97113011.7
申请日:1997-07-29
IPC分类号: G01R1/073
CPC分类号: G01R1/07328 , G01R1/07378
公开(公告)号:EP0840130B1
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:EP97113011.7
申请日:1997-07-29
IPC分类号: G01R1/073
CPC分类号: G01R1/07328 , G01R1/07378