公开(公告)号：EP2963147B1

公开(公告)日：2017-08-02

申请号：EP15173776.4

申请日：2015-06-25

申请人： Aixtron SE

发明人： LONG, Michael ,  POQUÉ, Andreas ,  CREMER, Claudia ,  BECCARD, Birgit Irmgard ,  TRIMBORN, Karl-Heinz

IPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/26 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC分类号： H05B3/0014 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  C23C14/26 ,  C23C16/4483 ,  C23C16/45565 ,  H05B3/026 ,  H05B3/06

公开(公告)号：EP2963147A3

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：EP15173776.4

申请日：2015-06-25

申请人： Aixtron SE

发明人： LONG, Michael ,  POQUÉ, Andreas ,  CREMER, Claudia ,  BECCARD, Birgit Irmgard ,  TRIMBORN, Karl-Heinz

IPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/26 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC分类号： H05B3/0014 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  C23C14/26 ,  C23C16/4483 ,  C23C16/45565 ,  H05B3/026 ,  H05B3/06

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Dampfes für eine CVD- oder PVD-Einrichtung mit mindestens zwei in Strömungsrichtung eines Trägergases hintereinander angeordneten, Wärmeübertragungsflächen aufweisende Wärmeübertragungskörper, die jeweils auf eine Wärmeübertragungstemperatur aufheizbar sind, mit einem Zuleitungsrohr (4) zur Zuleitung eines Aerosols zu einem der Wärmeübertragungskörper zur Verdampfung des Aerosols durch In-Kontakt-Bringen der Aerosol-Partikel mit den Wärmeübertragungsflächen. Es ist vorgesehen, dass zumindest einer der Wärmeübertragungskörper eine Öffnung aufweist, in der ein Zuleitungsrohr (4) steckt, wobei das Zuleitungsrohr (4) einen ersten Strömungskanal (23) zum Einspeisen des Aerosols und einen zweiten Strömungskanal (24) zum Einspeisen eines Trägergases aufweist, wobei Gasdurchtrittsöffnungen (29, 30) vorgesehen sind, durch die das Trägergas aus dem zweiten Strömungskanal (24) in den ersten Strömungskanal (23) strömen kann und wobei insbesondere vorgesehen ist, dass der zweite Strömungskanal (24) im Bereich der Mündung (4') des Zuleitungsrohres verschlossen ist.

公开(公告)号：EP2963147A2

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：EP15173776.4

申请日：2015-06-25

申请人： Aixtron SE

发明人： LONG, Michael ,  BECCARD, Birgit Irmgard ,  POQUÉ, Andreas

IPC分类号： C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/26 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455

CPC分类号： H05B3/0014 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  C23C14/26 ,  C23C16/4483 ,  C23C16/45565 ,  H05B3/026 ,  H05B3/06

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Dampfes für eine CVD- oder PVD-Einrichtung mit mindestens zwei in Strömungsrichtung eines Trägergases hintereinander angeordneten, Wärmeübertragungsflächen aufweisende Wärmeübertragungskörper, die jeweils auf eine Wärmeübertragungstemperatur aufheizbar sind, mit einem Zuleitungsrohr (4) zur Zuleitung eines Aerosols zu einem der Wärmeübertragungskörper zur Verdampfung des Aerosols durch In-Kontakt-Bringen der Aerosol-Partikel mit den Wärmeübertragungsflächen. Es ist vorgesehen, dass zumindest einer der Wärmeübertragungskörper eine Öffnung aufweist, in der ein Zuleitungsrohr (4) steckt, wobei das Zuleitungsrohr (4) einen ersten Strömungskanal (23) zum Einspeisen des Aerosols und einen zweiten Strömungskanal (24) zum Einspeisen eines Trägergases aufweist, wobei Gasdurchtrittsöffnungen (29, 30) vorgesehen sind, durch die das Trägergas aus dem zweiten Strömungskanal (24) in den ersten Strömungskanal (23) strömen kann und wobei insbesondere vorgesehen ist, dass der zweite Strömungskanal (24) im Bereich der Mündung (4') des Zuleitungsrohres verschlossen ist.

摘要翻译： 本发明涉及一种设备，用于生成用于CVD或PVD装置的蒸气，与载气的流量，并具有热传递表面的方向上连续地布置的至少两个热传递机构，其中的每一个可以被加热到热 转移温度，用在吸入管（4），用于气雾剂馈送至用于通过使气雾颗粒与热传递表面相接触的气溶胶的汽化热传递机构之一。 经费是由做热转印机构中的至少一个具有开口，在其中入口管（4）的位置，（4）具有用于供给气雾的第一流动通道（23）和第二流动入口管 信道（24），用于在气体通道开口（29，30）通过其中载气可以流出所述第二流动通道（24）的到第一流动通道（23）提供供给的载气，并且特别是提供 正在作出没有所述第二流动通道（24）在所述入口管的口部（4“）的区域中被密封。