公开(公告)号：EP4278026A1

公开(公告)日：2023-11-22

申请号：EP22739901.1

申请日：2022-01-10

申请人： Applied Materials, Inc. ,  National University of Singapore

发明人： LEONCINI, Andrea ,  MEHLMANN, Paul ,  DORDEVIC, Nemanja ,  HUYNH, Han Vinh ,  YONG, Doreen, Wei, Ying ,  SALY, Mark ,  BHUYAN, Bhaskar, Jyoti ,  LIU, Feng Q.

IPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/30 ,  C23C16/455 ,  H01L21/285

公开(公告)号：EP4277909A1

公开(公告)日：2023-11-22

申请号：EP22739900.3

申请日：2022-01-10

申请人： Applied Materials, Inc. ,  National University of Singapore

发明人： LEONCINI, Andrea ,  MEHLMANN, Paul ,  DORDEVIC, Nemanja ,  HUYNH, Han, Vinh ,  YONG, Doreen, Wei, Ying

IPC分类号： C07F11/00 ,  C07F17/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455

公开(公告)号：EP4277912A1

公开(公告)日：2023-11-22

申请号：EP22739911.0

申请日：2022-01-10

申请人： Applied Materials, Inc. ,  National University of Singapore

发明人： LEONCINI, Andrea ,  MEHLMANN, Paul ,  DORDEVIC, Nemanja ,  HUYNH, Han Vinh ,  YONG, Doreen Wei Ying

IPC分类号： C07F11/00 ,  C07F17/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455

公开(公告)号：EP4277913A1

公开(公告)日：2023-11-22

申请号：EP22739912.8

申请日：2022-01-10

申请人： Applied Materials, Inc. ,  National University of Singapore

发明人： LEONCINI, Andrea ,  MEHLMANN, Paul ,  DORDEVIC, Nemanja ,  HUYNH, Han Vinh ,  YONG, Doreen, Wei Ying

IPC分类号： C07F11/00 ,  C07F17/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455

公开(公告)号：EP4277911A1

公开(公告)日：2023-11-22

申请号：EP22739910.2

申请日：2022-01-10

申请人： Applied Materials, Inc. ,  National University of Singapore

发明人： LEONCINI, Andrea ,  MEHLMANN, Paul ,  DORDEVIC, Nemanja ,  HUYNH, Han Vinh ,  YONG, Doreen Wei Ying ,  SALY, Mark ,  BHUYAN, Bhaskar Jyoti

IPC分类号： C07F11/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455

公开(公告)号：EP4277910A1

公开(公告)日：2023-11-22

申请号：EP22739902.9

申请日：2022-01-10

申请人： Applied Materials, Inc. ,  National University of Singapore

发明人： LEONCINI, Andrea ,  MEHLMANN, Paul ,  DORDEVIC, Nemanja ,  HUYNH, Han, Vinh ,  YONG, Doreen, Wei, Ying

IPC分类号： C07F11/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/455