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发明公开
DISPOSITIF DE COUPURE A CHAMBRE PLASMA 审中-公开

公开(公告)号：EP4158673A1

公开(公告)日：2023-04-05

申请号：EP21734192.4

申请日：2021-05-24

申请人： ArianeGroup SAS

发明人： MARLIN, Frédéric , LORENZON, Romain , OEUVRARD, Jean-François , LEMMEL, Guillaume , FLEUREAU, Patrice

IPC分类号： H01H39/00