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公开(公告)号：EP2020672A3
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：EP08013495.0
申请日：2008-07-26
申请人： Astrium GmbH
摘要： Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Einkopplung von lonisationsenergie in eine induktiv oder induktiv-kapazitiv angeregte lonen- oder Elektronenquelle. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst folgende Merkmale: ein Entladungsgefäß (4) für ein zu ionisierendes Gas; eine um das Entladungsgefäß (4) gewickelte Koppelspule (5) zur Einspeisung einer zur Plasma-Anregung notwendigen Hochfrequenz-Energie; einen mit der Koppelspule (5) elektrisch gekoppelten Koppelkondensator (22); einen mit der Koppelspule elektrisch gekoppelten Hochfrequenzgenerator (16). Der Hochfrequenzgenerator (16) bildet zusammen mit dem zumindest einen Koppelkondensator (22) einen Resonanzkreis aus. Ferner weist der Hochfrequenzgenerator (16) eine PLL-Regelungsvorrichtung (34) zur automatischen Impedanzanpassung des Resonanzkreises auf, so dass der Resonanzkreis mit einer Resonanzfrequenz betreibbar ist.
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2.发明公开Hochfrequenzgenerator für Ionen- und Elektronenquellen 审中-公开HochfrequenzgeneratorfürIonen- und Elektronenquellen
公开(公告)号：EP2020672A2
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：EP08013495.0
申请日：2008-07-26
申请人： Astrium GmbH
摘要： Die Erfindung beschreibt eine Vorrichtung zur Einkopplung von lonisationsenergie in eine induktiv oder induktiv-kapazitiv angeregte lonen- oder Elektronenquelle. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst folgende Merkmale: ein Entladungsgefäß (4) für ein zu ionisierendes Gas; eine um das Entladungsgefäß (4) gewickelte Koppelspule (5) zur Einspeisung einer zur Plasma-Anregung notwendigen Hochfrequenz-Energie; einen mit der Koppelspule (5) elektrisch gekoppelten Koppelkondensator (22); einen mit der Koppelspule elektrisch gekoppelten Hochfrequenzgenerator (16). Der Hochfrequenzgenerator (16) bildet zusammen mit dem zumindest einen Koppelkondensator (22) einen Resonanzkreis aus. Ferner weist der Hochfrequenzgenerator (16) eine PLL-Regelungsvorrichtung (34) zur automatischen Impedanzanpassung des Resonanzkreises auf, so dass der Resonanzkreis mit einer Resonanzfrequenz betreibbar ist.
摘要翻译： 该装置具有提供用于执行等离子体激发的高频能量的耦合线圈（5）。 耦合电容器（22）与线圈电耦合。 高频发生器（16）即射频发生器与线圈电耦合。 具有电容器的发生器形成谐振电路，例如 串联谐振电路。 发电机具有自动执行电路的阻抗匹配的锁相环控制装置，使得电路通过使用谐振频率进行工作。
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