公开(公告)号：EP2676102A4

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：EP12746808

申请日：2012-02-09

申请人： BASF SE

发明人： BRUDER INGMAR ,  EICKEMEYER FELIX ,  ERK PETER ,  SENS RÜDIGER ,  IRLE STEPHAN ,  AL MOHAMEDI HAROUN ,  PELSTER ANDREAS ,  THIEL ERWIN

IPC分类号： G01S7/481 ,  G01B11/24 ,  G01S17/02 ,  G01S17/93 ,  H01L51/00 ,  H01L51/42

CPC分类号： G01S7/4816 ,  C09B57/008 ,  G01B11/24 ,  G01S17/026 ,  G01S17/936 ,  H01L51/0053 ,  H01L51/0059 ,  H01L51/006 ,  H01L51/422 ,  Y02E10/549