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1.

发明公开
PROCESS FOR THE GENERATION OF METAL-CONTAINING FILMS 审中-公开

公开(公告)号：EP3728689A1

公开(公告)日：2020-10-28

申请号：EP18800621.7

申请日：2018-11-09

申请人： BASF SE , Wayne State University

发明人： MAYR, Lukas , SCHWEINFURTH, David Dominique , WALDMANN, Daniel , WINTER, Charles Hartger , BLAKENEY, Kyle , KLENK, Sinja Verena , WEIGUNY, Sabine , WEERATHUNGA SIRIKKATHUGE, Nilanka , KARUNARATNE, Tharindu Malawara Arachchige Nimanthaka

IPC分类号： C23C16/20 , C23C16/06 , C23C16/08 , C23C16/455 , C07F5/06 , C07F17/00

2.

发明公开
PROCESS FOR THE GENERATION OF METAL-CONTAINING FILMS 审中-公开

公开(公告)号：EP3728688A1

公开(公告)日：2020-10-28

申请号：EP18773134.4

申请日：2018-09-17

申请人： BASF SE , Wayne State University

发明人： SCHWEINFURTH, David Dominique , MAYR, Lukas , KLENK, Sinja Verena , WEIGUNY, Sabine , WINTER, Charles Hartger , BLAKENEY, Kyle , WEERATHUNGA SIRIKKATHUGE, Nilanka , KARUNARATNE, Tharindu Malawara Arachchige Nimanthaka

IPC分类号： C23C16/20 , C23C16/06 , C23C16/08 , C23C16/455

3.

发明公开
ALUMINUM PRECURSOR AND PROCESS FOR THE GENERATION OF METAL-CONTAINING FILMS 审中-公开

公开(公告)号：EP3781577A1

公开(公告)日：2021-02-24

申请号：EP19715500.5

申请日：2019-04-10

申请人： BASF SE , Wayne State University

发明人： WINTER, Charles Hartger , BLAKENEY, Kyle , MAYR, Lukas , SCHWEINFURTH, David Dominique , WEIGUNY, Sabine , WALDMANN, Daniel

IPC分类号： C07F5/06 , C23C16/12 , C23C16/455