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    Magnetlagerung für eine schnell rotierende Vakuumpumpe
    1.
    发明公开
    Magnetlagerung für eine schnell rotierende Vakuumpumpe 失效
    用于快速旋转真空泵的磁性轴承

    公开(公告)号：EP0344503A3

    公开(公告)日：1990-11-14

    申请号：EP89108664.7

    申请日：1989-05-13

    申请人： Balzers-Pfeiffer GmbH

    发明人： Bernardt, Helmut ,  Bernhardt, Karl-Heinz

    IPC分类号： F16C39/06

    CPC分类号： F16C32/0476 ,  F16C32/0425 ,  F16C32/0442 ,  F16C39/02 ,  F16C2360/45

    摘要： Die Erfindung beschreibt eine Magnetlagerung für schnell ro­tierende Vakuumpumpen, bestehend aus zwei radial zentrierenden, passiven Magnetlagern (9, 10), welche axiale destabilisierende Kräfte und somit einen labilen Punkt verursachen. Die axiale Lage wird mit Hilfe eines elektrischen Hubmagneten (11) geregelt. Der Arbeitspunkt des Radiallagers ist axial in Richtung des Hoch­vakuumflansches in Bezug auf den labilen Punkt verschoben. Von den beiden Notlagern (14, 15) befindet sich eines auf der Hoch­vakuumseite. Das andere ist auf der Vorvakuumseite zwischen Hubmagnet und unterem passiven Radiallager angeordnet. Eine besondere Anordnung von Rotor, Hubmagnet und Lagesensor (12) sorgt für eine leichte Justierbarkeit des Rotors.

    Magnetlagerung für eine schnell rotierende Vakuumpumpe
    2.
    发明公开
    Magnetlagerung für eine schnell rotierende Vakuumpumpe 失效
    用于快速旋转的真空泵磁存储。

    公开(公告)号：EP0344503A2

    公开(公告)日：1989-12-06

    申请号：EP89108664.7

    申请日：1989-05-13

    申请人： Balzers-Pfeiffer GmbH

    发明人： Bernardt, Helmut ,  Bernhardt, Karl-Heinz

    IPC分类号： F16C39/06

    CPC分类号： F16C32/0476 ,  F16C32/0425 ,  F16C32/0442 ,  F16C39/02 ,  F16C2360/45

    摘要： Die Erfindung beschreibt eine Magnetlagerung für schnell ro­tierende Vakuumpumpen, bestehend aus zwei radial zentrierenden, passiven Magnetlagern (9, 10), welche axiale destabilisierende Kräfte und somit einen labilen Punkt verursachen. Die axiale Lage wird mit Hilfe eines elektrischen Hubmagneten (11) geregelt. Der Arbeitspunkt des Radiallagers ist axial in Richtung des Hoch­vakuumflansches in Bezug auf den labilen Punkt verschoben. Von den beiden Notlagern (14, 15) befindet sich eines auf der Hoch­vakuumseite. Das andere ist auf der Vorvakuumseite zwischen Hubmagnet und unterem passiven Radiallager angeordnet. Eine besondere Anordnung von Rotor, Hubmagnet und Lagesensor (12) sorgt für eine leichte Justierbarkeit des Rotors.

    摘要翻译： 本发明描述了一种用于快速旋转的真空泵，其包括两个径向定心无源磁轴承（9，10），并因此产生轴向力不稳定的不稳定点的磁性轴承。 的轴向位置由电动起重磁铁（11）来控制。 径向轴承的工作点在相对于不稳定点高真空法兰的方向上轴向移动。 （14，15）位于一个在高真空侧的两个应急阵营。 另一个布置在起重磁铁和下被动径向轴承之间的前 - 真空侧。 转子，电磁和位置传感器（12）的特定布置提供的转子的容易调节性。