公开(公告)号：EP2244489A1

公开(公告)日：2010-10-27

申请号：EP09005740.7

申请日：2009-04-24

申请人： Bayer MaterialScience AG

发明人： Jenninger, Werner, Dr. ,  Wagner, Joachim, Dr. ,  Fischer, Wolfgang, Dr. ,  Büchner, Jörg ,  Bernert, Thomas. Dr. ,  Nuebler, Andreas

IPC分类号： H04R7/08 ,  H04R17/00 ,  H01L41/107 ,  H01L41/113

CPC分类号： H01L41/45 ,  H01L41/083 ,  H01L41/193 ,  H01L41/277 ,  H04R17/005 ,  Y10S310/80 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49002

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen, beispielsweise piezoelektrischen, Wandlers, in dem eine erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a) auf eine erste durchgehende Polymerschicht (1;1a) mittels eines Druck- und/oder Beschichtungsverfahrens aufgebracht wird, eine Abdeckung (4;1b,2b) auf die erste Aussparungen (3;3a) umfassende Polymerschicht (2;2a) so aufgebracht wird, dass die Aussparungen (3;3a) der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) unter Ausbildung von Hohlräumen (5) verschlossen werden und die Abdeckung (4;1b,2b) mit der ersten Aussparungen (3;3a) umfassenden Polymerschicht (2;2a) verbunden wird. Die Erfindung betrifft weiterhin elektromechanische Wandler, welche durch ein erfindungsgemäßes Verfahren herstellbar sind, sowie deren Verwendung.

摘要翻译： 该方法包括使用印刷和/或涂布方法例如在连续聚合物层（1a）上施加具有开口（3a）的聚合物层（2a）。 旋涂工艺。 具有开口的聚合物层的材料被部分硬化。 在具有开口的聚合物层上施加覆盖物，使得在形成中空空间的情况下覆盖开口。 盖通过层压工艺与具有开口的聚合物层连接。 在连续聚合物层中进行加载过程之后分离装载层。 还包括用于包括连续聚合物层的机电转换器的独立权利要求。