公开(公告)号：EP1096556B1

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：EP99307999

申请日：1999-10-11

申请人： CABOT MICROELECTRONICS CORP

发明人： BRUSIC VLASTA ,  EDELSTEIN DANIEL C ,  FENNEY PAUL M ,  GUTHRIE WILLIAM ,  JASO MARK ,  KAUFMAN FRANK B ,  LUSTIG NAFTALI ,  ROPER PETER ,  RODBELL KENNETH ,  THOMPSON DAVID B

IPC分类号： B24C11/00 ,  H01L21/321 ,  B24B37/00 ,  C09G1/00 ,  C09G1/02 ,  C09K13/00 ,  C09K13/04 ,  C23F3/00

CPC分类号： C09G1/02 ,  C09K13/04 ,  C23F3/00 ,  H01L21/3212