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1.

发明公开
Mixed solvent composition, and cleaning method and cleaning apparatus making use of the same 失效
标题翻译：溶剂混合物和清洁方法和装置，使用它。

公开(公告)号：EP0607969A1

公开(公告)日：1994-07-27

申请号：EP94100804.7

申请日：1994-01-20

申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA

发明人： Matsuhisa, Hirohide, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Midorikawa, Satoko, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Mima, Sumire, c/o Canon Kabushiki Kaisha

IPC分类号： C23G5/028 , C23G5/032 , C23G5/024 , C23G5/04 , C11D7/30 , C11D7/26 , C11D7/24

CPC分类号： C11D7/5018 , C11D7/24 , C11D7/263 , C11D7/28 , C11D7/30 , C11D7/3227 , C11D7/5072 , C11D7/509 , C23G5/02803 , C23G5/04

摘要： Disclosed herein is a mixed solvent composition including perfluorohexane and isohexane or diisopropyl ether.

摘要翻译： 在是全氟己烷包括异己烷和或公开二异丙醚的混合溶剂组合物。

2.

发明授权
Mixed solvent composition, and cleaning method making use of the same 失效
标题翻译：使用它的混合溶剂和清洁方法

公开(公告)号：EP0607969B1

公开(公告)日：1997-05-14

申请号：EP94100804.7

申请日：1994-01-20

申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA

发明人： Matsuhisa, Hirohide, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Midorikawa, Satoko, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Mima, Sumire, c/o Canon Kabushiki Kaisha

IPC分类号： C23G5/028 , C23G5/032 , C23G5/024 , C23G5/04 , C11D7/30 , C11D7/26 , C11D7/24

CPC分类号： C11D7/5018 , C11D7/24 , C11D7/263 , C11D7/28 , C11D7/30 , C11D7/3227 , C11D7/5072 , C11D7/509 , C23G5/02803 , C23G5/04