摘要:
Fabrication of films comprising within their thickness at least two superimposed areas of which one is a semi-metallic area and the other is an electrically isolating area, by irradiation of a polymer film by means of a beam of energetic ions. By implementing such method it is possible to form semi-metal (1)/insulation (2)/semi-metal (3) structures by irradiating the polymer under vacuum conditions by means of light ions or ions having a low stopping power, having an energy of at least 1 MeV/u.m.a. It is also possible to obtain isolation (4)/semi-metal (5)/insulation (6) structures by irradiating the polymer, in a confined atmosphere, by means of heavy ions or ions with a high energy loss, having an energy of at least 1 MeV/u.m.a. By irradiating only certain areas of the film it is thus possible to form buried or surface electric connections.
摘要:
Fabrication de films comportant dans leur épaisseur au moins deux zones superposées dont une zone à caractère semi-métallique et une zone à caractère isolant électrique, par irradiation d'un film de polymère au moyen d'un faisceau d'ions énergétiques. On peut former par ce procédé des structures semi-métal (1)/isolant (2)/semi-métal (3) en irradiant le polymère sous vide au moyen d'ions légers ou de faible pouvoir d'arrêt, ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a. On peut aussi obtenir des structures isolant (4)/semi-métal (5)/isolant (6) en irradiant, en atmosphère confinée, le polymère au moyen d'ions lourds ou de grande perte d'énergie, ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a. En irradiant seulement certaines zones du film on peut ainsi former des connexions électriques enterrées ou en surface.