公开(公告)号：EP2050842A1

公开(公告)日：2009-04-22

申请号：EP08290976.3

申请日：2008-10-17

申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

发明人： Ramos, Ana ,  Moussy, Jean-Baptiste ,  Guittet, Marie-Joseph ,  Gaitoer-Soyer, Martine

IPC分类号： C30B23/02 ,  C30B29/26 ,  H01F10/20

CPC分类号： H01F10/20 ,  C30B23/002 ,  C30B23/005 ,  C30B29/26

摘要： Procédé de fabrication permettant la croissance par épitaxie par jets moléculaires (MBE) assistée par plasma d'oxygène atomique de couches ultra-minces de ferrites de structure spinelle.

摘要翻译： 通过由原子氧等离子体辅助的分子束外延（MBE）制备二元铁素体或三元铁素体的薄层，包括在单晶材料中选择衬底; 将基底放置在生长室中; 调整压力 在> = 350℃下加热衬底; 同时使衬底经受原子氧流，铁原子流和其他原子流; 相对于沉积物的所需化学计量来控制流; 在获得所需厚度的沉积物之后停止原子氧和原子的供应。 通过由原子氧等离子体辅助的分子束外延（MBE）制备式（AFe 2 O 4）的二元铁氧体或式（ABFe 2 O 4）的三元铁素体的薄层包括选择保留其晶体结构的单晶材料中的衬底 温度> 350℃; 将基底放置在生长室中; 将压力调节到生长室中允许通过分子束外延生长的值; 在> 350℃的温度下加热衬底; 同时使基板进行原子氧流，铁原子流和其他原子流（A为二元铁素体，A和B为三元铁素体）; 控制流相对于沉积物的所需化学计量（AFe 2O 4或ABFe 2 O 4），其中原子流（铁（Fe），A和任选的B）的总和为0.5-6A /分钟; 在获得所需厚度的沉积物之后，在（1.33×10 -4> -6.66×10 -4）的压力（p）下停止原子氧和原子（铁（Fe），A和任选的B） ）在过程的前15分钟内逐渐变化。 A，B：能与Fe和O组合的总化学成分，以产生铁素体。