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公开(公告)号:EP2452378B1
公开(公告)日:2020-09-09
申请号:EP10738026.3
申请日:2010-07-09
申请人: Cambridge Enterprise Limited
发明人: SIRRINGHAUS, Henning , CHANG, Jui-Fen , GWINNER, Michael
IPC分类号: H01L51/00 , H01L51/05 , G03F7/11