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发明公开
MULTI-BEAM PARTICLE MICROSCOPE WITH IMPROVED BEAM CURRENT CONTROL 审中-实审

公开(公告)号：EP4374410A1

公开(公告)日：2024-05-29

申请号：EP22743738.1

申请日：2022-07-05

申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH

发明人： STORECK, Gero , KIEREY, Holger

IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/244 , H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2453520130101 , H01J2237/3047220130101 , H01J37/09 , H01J2237/045320130101 , H01J2237/2449520130101