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发明授权
Verfahren zum elektronenstrahlinduzierten Ätzen 有权
标题翻译：一种用于电子束诱导蚀刻方法

公开(公告)号：EP2506294B1

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：EP12171753.2

申请日：2009-08-13

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： Auth, Nicole , Spies, Petra , Becker, Rainer , Hofmann, Thorsten , Edinger, Klaus

IPC分类号： H01L21/311 , H01L21/3065 , H01L21/3213

CPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/31116 , H01L21/32136