专利检索 ap:("Carl Zeiss SMT GmbH") AND inv:"SCHMIDT, Michael" 第 1 页

1.

发明公开
APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING IONS 审中-公开

公开(公告)号：EP3455873A1

公开(公告)日：2019-03-20

申请号：EP17719848.8

申请日：2017-04-28

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： ALIMAN, Michel , BUTZMANN, Stefan , BROCKHAUS, Albrecht , SCHMIDT, Michael , CHUNG, Hin Yiu Anthony , LAUE, Alexander

IPC分类号： H01J49/38 , H01J49/02 , H01J49/42