公开(公告)号：EP2417063B1

公开(公告)日：2013-07-17

申请号：EP10707224.1

申请日：2010-03-04

申请人： Cerpotech AS

发明人： MADERO, Francesco ,  GRANDE, Tor ,  EINARSRUD, Mari-Ann ,  WIIK, Kjell

IPC分类号： C01G33/00 ,  C01G35/00 ,  C04B35/495 ,  C04B35/64 ,  H01L41/187 ,  H01L41/107

CPC分类号： C01G33/006 ,  C01G33/00 ,  C01G35/00 ,  C01P2002/30 ,  C01P2002/34 ,  C01P2002/72 ,  C01P2002/88 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/10 ,  C01P2004/54 ,  C01P2004/62 ,  C04B35/495 ,  C04B35/62645 ,  C04B35/6267 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3205 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3272 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/81 ,  H01L41/1873