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发明授权
PROCEDE D'OBTENTION D'UNE COUCHE TRES MINCE PAR AMINCISSEMENT PAR AUTO-PORTAGE PROVOQUE 有权
标题翻译：一种用于生产薄层BY非常挑起SELBSTRAGUNG

公开(公告)号：EP1631982B1

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：EP04742879.2

申请日：2004-06-03

申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

发明人： MORICEAU, Hubert , LAGAHE, Chrystelle , BATAILLOU, Benoit

IPC分类号： H01L21/762 , H01L21/20

CPC分类号： H01L21/76254