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发明授权
Laser with automated beam quality control 有权
标题翻译：激光光束质量的自动化控制

公开(公告)号：EP1028502B1

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：EP00102800.0

申请日：2000-02-10

申请人： Cymer, Inc.

发明人： Erie, Frederic G. , Buck, Jesse D. , Das, Palash P.

IPC分类号： H01S3/13 , H01S3/225

CPC分类号： G03F7/70025 , G02B5/1828 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225