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发明授权
METHOD AND APPARATUS FOR GAS DISCHARGE LASER OUTPUT LIGHT COHERENCY REDUCTION 有权

公开(公告)号：EP1779481B1

公开(公告)日：2019-08-21

申请号：EP05762327.4

申请日：2005-06-17

申请人： Cymer, LLC

发明人： RAFAC, Robert, J. , SMITH, Scot, T.

IPC分类号： G01B9/02 , H01S3/22 , G02B5/04 , G03F7/20