KOPPLUNGSGLIED FÜR EINE POSITIONIEREINRICHTUNG, POSITIONIEREINRICHTUNG MIT EINEM KOPPLUNGSGLIED, SOWIE FERTIGUNGSVERFAHREN

    公开(公告)号:EP3730986A1

    公开(公告)日:2020-10-28

    申请号:EP19170813.0

    申请日:2019-04-24

    申请人: ETEL S.A.

    摘要: Vorgeschlagen wird ein Kopplungsglied (30) für eine Positioniereinrichtung (100), die eine erste Linearführung (10A) zur Führung eines ersten Laufwagens (11A) entlang einer ersten Linearrichtung (X) sowie eine zweite Linearführung (20) zur Führung eines zweiten Laufwagens (21) entlang einer zweiten, zur ersten Linearrichtung (X) im Wesentlichen senkrechten Linearrichtung (Y) umfasst. Das Kopplungsglied (30) ist für eine Ausbildung einer Kopplung zwischen dem ersten Laufwagen (11A) und der zweiten Linearführung (20) ausgestaltet. Das Kopplungsglied (30) umfasst ein Zentralteil (31); ein in einem Abstand zu dem Zentralteil (31) angeordnetes und das Zentralteil (31) umgebendes Umgebungsteil (32), wobei das Umgebungsteil (32) einen zentralen, das Zentralteil (31) umgebenen Abschnitt (321) sowie zwei, in erster Linearrichtung (X) an den zentralen Abschnitt (321) angrenzende Endabschnitte (322) aufweist; eine Mehrzahl von den Abstand ausbildenden Verbindungsblattfedern (33), die das Zentralteil (31) und den zentralen Abschnitt des Umgebungsteil (32) miteinander verbinden, wobei sich die Ebenen, in denen die Verbindungsblattfedern (33) angeordnet sind, in einem Zentrum (Z0) des Zentralteils (31) schneiden; und, an jedem der beiden Endabschnitte (322) des Umgebungsteils (32), eine parallel zur ersten Linearrichtung (X) angeordnete Vertikalblattfeder (323).