公开(公告)号：EP2924721A1

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：EP14199710.6

申请日：2014-12-22

申请人： ETEL S.A.

发明人： Maamari, Nadim ,  Coleman, Ralph

IPC分类号： H01L21/68

摘要： Es wird eine Positioniereinrichtung in Portalbauweise beschrieben, mit zwei auf einer Basis (G) parallel zueinander angeordneten Linearführungen (FX1, FX2), die einen ersten Querträger (FY1) und einen zweiten Querträger (FY2) in einer ersten Richtung (X) beweglich halten. Am ersten Querträger (FY1) ist ein Laufwagen (LY) mit einem Funktionselement (T) in einer zweiten Richtung (Y) beweglich gehalten. Am Laufwagen (LY) und am zweiten Querträger (FY2) sind Positionsmesseinrichtungen (Mxy, Mz, Mx, AKx1, AKx2, AKx3, AKy, AKz1, AKz2) zur Messung der Lage des Laufwagens (LY) relativ zum zweiten Querträger (FY2) angeordnet.

摘要翻译： 我们将描述的定位装置在门户设计，具有两个基座（G）在布置在保持移动的第一方向（X）相互平行的线性导向件（FX1，FX2），第一横向构件（FY1）和第二横向构件（FY2）。 在所述第一横梁（FY1）被可移动地保持的滑架（LY）与在第二方向（Y）的功能元件（T）。 滑架（LY）和所述第二横向构件（FY2）是位置测量装置（MXY，的Mz，MX，AKx1，AKx2，AKx3，AKY，AKz1，AKz2），用于测量所述滑架（LY）相对的位置，以布置在第二横向支撑件（FY2） ，

公开(公告)号：EP2924721B1

公开(公告)日：2020-04-22

申请号：EP14199710.6

申请日：2014-12-22

申请人： ETEL S.A.

发明人： Maamari, Nadim ,  Coleman, Ralph

IPC分类号： H01L21/68