公开(公告)号：EP3119498A1

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：EP15717064.8

申请日：2015-03-19

申请人： Entegris, Inc.

发明人： LOBERT, Jurgen, M. ,  VENET, Marc ,  GAUDREAU, John ,  LOBERT, Jürgen, M.

IPC分类号： B01D53/04 ,  B01D53/75 ,  B01D53/82 ,  G03F7/20 ,  B01D53/72

CPC分类号： B01D53/346 ,  B01D46/0023 ,  B01D46/008 ,  B01D46/0086 ,  B01D46/44 ,  B01D53/0454 ,  B01D53/72 ,  B01D53/75 ,  B01D53/82 ,  B01D2257/406 ,  B01D2257/702 ,  B01D2257/7022 ,  B01D2257/7027 ,  B01D2259/40084 ,  B01D2259/41 ,  B01D2259/4146 ,  B01D2259/4148 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70991

摘要： System and method for removing molecular contaminants from an air stream are disclosed. The system includes first, second and third filter. The first filter removes organic contaminants from an air stream passing through the first filter. The second filter is downstream of the first filter, is physically and chemically exchangeable with the first filter and removes organic contaminants from the air stream output of the first filter. The third filter, downstream of the second filter, is not exchangeable with the first filter or the second filter. The first position filter can be replaced by the second filter in the second position when the first filter in the first position becomes depleted as detected. A new filter in the second filter position is inserted. Replacing the depleted first filter with the second downstream filter reduces costs and waste while inserting the new filter in the second position ensures removing organic contaminants.

摘要翻译： 系统和方法，用于从空气中去除污染物分子以流被游离缺失光盘。 该系统包括第一，第二和第三过滤器。 第一过滤器中移除有机污染物从空气到流穿过第一过滤器。 第二过滤器在第一过滤器的下游，是物理和化学上与可交换第一过滤器，并从所述第一滤波器的输出的空气流中移除有机污染物。 第三滤波器，所述第二过滤器的下游，是不能兑换与所述第一过滤器或所述第二过滤器。 第一positionFilter可以通过在第二位置的第二滤波器。当在所述第一位置的第一过滤器所检测的耗尽所取代。 在第二过滤器位置新的过滤器被插入。 与所述第二下游过滤器的更换耗尽的第一过滤器而插入新的过滤器在第二位置时可确保除去有机污染物降低成本和浪费。