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发明公开
METHOD FOR PREPARING SAMPLES FOR IMAGING 审中-公开
标题翻译：制备法成像样品的

公开(公告)号：EP2939260A4

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：EP13867351

申请日：2013-12-30

申请人： FEI CO

发明人： SCHMIDT MICHAEL , BLACKWOOD JEFFREY , STONE STACEY , LEE SANG HOON , KELLEY RONALD , LANDIN TREVAN

IPC分类号： H01L21/205

CPC分类号： G01N1/32 , G01N1/28 , H01L21/30655