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发明公开
GAS DELIVERY FOR BEAM PROCESSING SYSTEMS 有权
标题翻译：供气辐射工艺系统

公开(公告)号：EP2501839A4

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：EP10830922

申请日：2010-11-16

申请人： FEI CO

发明人： CHANDLER CLIVE D , RANDOLPH STEVEN , HARTIGAN GAVIN

IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/44 , C23F4/04 , H01L21/3065

CPC分类号： C23C16/047 , C23C16/4485 , C23C16/45523 , C23C16/45561 , H01J2237/006