公开(公告)号：EP1696219B1

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：EP06110258.8

申请日：2006-02-22

申请人： FEI COMPANY

发明人： Giannuzzi, Lucille ,  Anzalone, Paul ,  Young, Richard ,  Phifer, Jr., Daniel

IPC分类号： G01N1/32 ,  H01J37/305

CPC分类号： G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G01N23/00 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745 ,  Y10T428/24355

公开(公告)号：EP1696219A1

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：EP06110258.8

申请日：2006-02-22

申请人： FEI COMPANY

发明人： Giannuzzi, Lucille ,  Anzalone, Paul ,  Young, Richard ,  Phifer, Jr., Daniel

IPC分类号： G01N1/32 ,  H01J37/305

CPC分类号： G01N1/286 ,  G01N1/32 ,  G01N23/00 ,  H01J2237/2817 ,  H01J2237/31745 ,  Y10T428/24355

摘要： A method of sample extraction entails making multiple, overlapping cuts using a beam, such as a focused ion beam, to create a trench around a sample, and then undercutting the sample to free it. Because the sidewalls of the cut are not vertical, the overlapping cuts impinge on the sloping sidewalls formed by previous cuts. The high angle of incidence provides a greatly enhanced mill rate, so that making multiple overlapping cuts to produce a wide trench can requires less time than making a single, deep cut around the perimeter of a sample.

摘要翻译： 样品提取的方法需要使用诸如聚焦离子束的束来形成多个重叠的切割，以在样品周围产生沟槽，然后对样品进行底切以释放它。 因为切口的侧壁不是垂直的，所以重叠的切口冲击由先前切割形成的倾斜侧壁。 高入射角提供了大大提高的轧机速率，使得制造多个重叠切口以产生宽沟槽可以比在样品周边上进行单次深切割需要更少的时间。