MICROSCOPIE PAR BALAYAGE PHOTONIQUE A EFFET DE TUNNEL.
    1.
    发明公开
    MICROSCOPIE PAR BALAYAGE PHOTONIQUE A EFFET DE TUNNEL. 失效
    PHOTONENABTASTTUNNELEFFEKTMIKROSKOP。

    公开(公告)号:EP0439534A1

    公开(公告)日:1991-08-07

    申请号:EP89912339

    申请日:1989-10-20

    摘要: Un procédé et un appareil de microscopie (10) par balayage photonique à effet de tunnel permettent d'examiner un échantillon (20) dans une zone d'échantillonnage (21) sur une surface (16) avec une résolution de l'ordre de sous-multiples de longueurs d'ondes. Selon le procédé, on génère un champ proche (18) de photons au niveau d'une surface (16) qui contient la zone d'échantillonnage (21). Le champ proche (18) a une superficie plus grande que la zone d'échantillonnage (21) et une intensité qui augmente exponentiellement dans un sens perpendiculaire à la surface, à mesure que l'on s'approche de la surface. Une sonde (26) qui reçoit des photons de ce champ proche (18), les photons se déplaçant par effet de tunnel de la surface (16) à la sonde (26), échantillonne le champ proche (18). Les photons reçus sont détectés et un détecteur (30) produit un signal de sortie proportionnel au nombre de photons reçus par la sonde (26). La zone d'échantillonnage (21) est balayée par la sonde (26) dans au moins une direction parallèle à la surface (16). Pendant le balayage, la sonde (26) peut être maintenue dans une position d'intensité constante du champ proche ou à une distance constante par rapport à la surface (16). Un microscope par balayage photonique à effet de champ sert à mettre en oeuvre le procédé.

    摘要翻译: 一种光子扫描隧道显微镜方法和装置(10),用于以亚级分辨率检查表面(16)上的样本区域(21)中的样本(20) - 多个波长。 根据该方法,在包含采样区域(21)的表面(16)处产生光子的近场(18)。 近场(18)具有大于采样区域(21)的面积,并且当人靠近表面时,在垂直于表面的方向上呈指数增加的强度。 接收该近场(18)的光子的探测器(26)从表面(16)隧穿到探测器(26)的光子对近场(18)进行采样。 接收到的光子被检测并且检测器(30)产生与由探针(26)接收的光子的数量成比例的输出信号。 采样区(21)由探针(26)在平行于表面(16)的至少一个方向上扫过。 在扫描过程中,探头(26)可以保持在近场强度恒定的位置或与表面(16)保持恒定的距离。 场效应光子扫描显微镜用于执行该方法。