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发明公开
APPARATUS AND METHODS FOR SHIELDING HIGH-PRESSURE FLUID DEVICES 有权
标题翻译： FOR曝光装置的方法和设备，其中是液体高压下

公开(公告)号：EP1324837A4

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：EP01920156

申请日：2001-02-27

申请人： FLUOR CORP

发明人： MARTIN SAMUEL A , ANTALFFY LESLIE P , KERR BRUCE A , KNOWLES MICHAEL B , ODER JOHN W , WEST GEORGE T

IPC分类号： B08B9/093 , C10B33/00 , C10B41/02 , C10B41/06

CPC分类号： B08B9/0936 , B08B2203/0264 , C10B33/006 , C10B41/02