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发明公开
SURFACE INSPECTION SCANNING SYSTEM AND METHOD 失效
标题翻译：表面检测扫描系统及方法

公开(公告)号：EP0065051A3

公开(公告)日：1984-05-23

申请号：EP81305663

申请日：1981-12-01

申请人： FORD AEROSPACE & COMMUNICATIONS CORPORATION

发明人： ALFORD, JERRY W. , CUSHING, CHARLES J. , HUNT, JAMES D. , SMITH, MICHAEL L. , VANDER NEUT, RICHARD D. , WILKES, JAMES L.

IPC分类号： H01L21/66 , G01N21/88 , G01N21/956

CPC分类号： G01N21/88