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发明公开
VERFAHREN ZUM GLÄTTEN EINES BAUTEILOBERFLÄCHENBEREICHS 审中-公开

公开(公告)号：EP3849805A1

公开(公告)日：2021-07-21

申请号：EP19769141.3

申请日：2019-09-13

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.

发明人： GRAFFEL, Benjamin , WINCKLER, Falk , FRITZSCHE, Sven , KIEBACK, Bernd , KLÖDEN, Burghardt , WEISSGÄRBER, Thomas

IPC分类号： B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y40/00 , H01J37/30 , H01J37/304